Sprioc Sorcóir Rothlach Tíotáiniam

Is comhpháirt í a úsáidtear i bpróisis sil-leagan fisiceach gaile (PVD), ar modh é chun scannáin tanaí ábhair a chur ar fhoshraith. Tá an sprioc feadán tíotáiniam déanta as tíotáiniam íon agus tá sé múnlaithe cosúil le sorcóir a rothlaíonn le linn an phróisis PVD.

Oibríonn an próiseas PVD trí stua leictreach nó sputtering maighnéadrón a úsáid chun an sprioc-ábhar a ghalú, sa chás seo, tíotáiniam, agus é a thaisceadh mar scannán tanaí ar fhoshraith. Ligeann sprioc an tsorcóra rothlach an scannán tíotáiniam a chur ar an tsubstráit ar bhealach níos comhionainne.

I measc na buntáistí a bhaineann le húsáid i bpróisis PVD tá ard-íonacht an scannáin thaisce, ráta ard taisce, agus greamaitheacht scannáin feabhsaithe. Tá na spriocanna rothlacha tíotáiniam do sputtering maighnéadrón déanta as ábhar tíotáiniam ardchaighdeáin agus tá sé deartha chun teocht ard agus strusanna meicniúla a sheasamh le linn an phróisis PVD.

Réamhrá Sonraíochta

Cineál Gnáthmhéid:

Ár buntáiste

Tá gráin bheaga, dáileadh aonfhoirmeach, íonacht ard, cuimsiú beag, agus íonacht ard ag na spriocanna tíotáiniam a sholáthraímid. Úsáidtear an scannán TN taiscthe i maisiú, uirlisí, leathsheoltóir agus réimsí eile, le greamaitheacht maith, sciath aonfhoirmeach agus dathanna geala.

--Íonachta

Chun sprioc sputtering tíotáiniam cáilithe a tháirgeadh, tá an íonacht ar cheann dá táscairí feidhmíochta tábhachtacha. Tá tionchar mór ag íonacht an sprioc tíotáiniam ar fheidhmíocht an sciath sputter. Dá airde an íonacht an sprioc tíotáiniam, na cáithníní eilimint níos lú eisíontais sa scannán tíotáiniam sputtered, a eascraíonn i feidhmíocht sciath PVD níos fearr, lena n-áirítear friotaíocht creimeadh níos fearr agus airíonna leictreacha agus optúla. Mar sin féin, in iarratais phraiticiúla, tá ceanglais dhifriúla íonachta ag spriocanna tíotáiniam chun críocha éagsúla. Úsáidtear an t-ábhar sprice mar fhoinse catóide i sputtering, agus is iad na heilimintí eisíontais agus cuimsiú porosity san ábhar príomhfhoinsí truaillithe an scannáin thaisce. Bainfear na cuimsithe porosity go bunúsach le linn na tástála neamh-millteach ar an tinne, agus beidh na cuimsiú porosity nach mbaintear ina chúis le scaoileadh le linn an phróisis sputtering, rud a dhéanfaidh difear do cháilíocht an scannáin; ní féidir ábhar na n-eilimintí eisíontais a léiriú ach amháin i dtorthaí tástála na hanailíse eiliminte iomlán, dá ísle an t-ábhar eisíontais iomlán, is airde íonacht an sprioc tíotáiniam.

--Dlús

Is fachtóir tábhachtach é dlús freisin maidir le cáilíocht na spriocanna tíotáiniam a thomhas. D'fhonn an porosity sa sprioc soladach a laghdú agus feidhmíocht an scannáin sputtered a fheabhsú, de ghnáth is gá go mbeadh dlús níos airde ag an sprioc.

Bíonn tionchar ag dlús an sprioc ní hamháin ar an ráta sputtering, ach freisin ar airíonna leictreacha agus optúla an scannáin. Dá airde an dlús sprice, is amhlaidh is fearr feidhmíocht an scannáin. Ina theannta sin, cuireann méadú ar dhlús agus ar neart na sprice ar chumas an sprioc strus teirmeach a sheasamh níos fearr le linn sputtering. Tá dlús ar cheann de phríomhtháscairí feidhmíochta na sprice freisin.

--Méid na gcáithníní agus a dháileadh

Go hiondúil, is struchtúir ilchriostalacha iad spriocanna sputtering le méideanna gráin ar ord roinnt micriméadair go roinnt milliméadar. Maidir leis an sprioc chéanna, dá lú méid na gcáithníní ar an sprioc, is amhlaidh is tapúla a bheidh an luas sputtering; ina theannta sin, is féidir leis an sprioc le difríocht mhéid na gcáithníní níos lú sputter scannán le tiús níos comhionann. Chinn an staidéar, má tá méid gráin an sprioc tíotáiniam á rialú faoi bhun 100 μm, agus go gcoimeádtar éagsúlacht an mhéid gráin laistigh de 20%, is féidir cáilíocht an scannáin sputtered a fheabhsú go mór.

--treoshuíomh criostail

Tá struchtúr heicseagánach dlúthphacáilte ag tíotáiniam. Ós rud é go bhfuil adamh an sprioc tíotáiniam sputtered go héasca ar feadh treo pacáilte dlúth heicseagánach na n-adamh le linn sputtering, d'fhonn ráta sputtering níos airde a bhaint amach, is féidir struchtúr criostail an sprioc a athrú tríd an modh a athrú. chun an ráta sputtering a mhéadú. Tá tionchar mór ag treo criostalach an sprioc tíotáiniam freisin ar aonfhoirmeacht tiús an scannáin sputtered.

--Aontachtacht struchtúrach

Tá aonfhoirmeacht struchtúrach ar cheann de na táscairí tábhachtacha freisin chun cáilíocht na sprice a scrúdú. Maidir le spriocanna tíotáiniam, ní hamháin go bhfuil gá le plána sputtering an sprioc, ach freisin an gnáth-chomhdhéanamh treo, treoshuíomh gráin agus aonfhoirmeacht meánmhéid gráin an eitleáin sputtering. Ach ar an mbealach seo, is féidir leis an sprioc tíotáiniam scannán tíotáiniam a fháil le tiús aonfhoirmeach, cáilíocht iontaofa agus méid gráin comhsheasmhach ag an am céanna le linn a shaol seirbhíse.

Cás sonraíochta

Luas rothlaithe: Ba cheart go mbeadh an sprioc in ann rothlú ag luasanna suas le roinnt mílte RPM chun ráta taisce níos comhionann a bhaint amach agus saolré an sprioc a leathnú.

Fuarú: Ba chóir an sprioc feadán tíotáiniam a fhuaraithe le huisce chun an teas a ghintear le linn an phróisis sil-leagan a scaipeadh agus damáiste don sprioc a chosc.
Pláta taca: Úsáidtear pláta tacaíochta tíotáiniam de ghnáth chun tacú leis an sprioc sorcóir rothlach agus chun teagmháil leictreach a sholáthar.
Modh nascáil: De ghnáth nasctar an sprioc leis an pláta tacaíochta trí úsáid a bhaint as nascáil idirleata nó modhanna nasctha ard-neart eile chun seoltacht theirmeach agus leictreach maith a chinntiú.
Íonacht: Ba cheart go mbeadh ardleibhéal íonachta ag na spriocanna rothlacha tíotáiniam le haghaidh sputtering magnetron chun na neamhíonachtaí sna scannáin thaisce a íoslaghdú agus feidhmíocht chomhsheasmhach a chinntiú. Ba cheart go mbeadh an leibhéal eisíontais níos lú ná 1000 cuid in aghaidh an mhilliúin (ppm) don chuid is mó d'iarratais.

Ar an iomlán, beidh sonraíochtaí sprioc sorcóir rothlach tíotáiniam éagsúil ag brath ar na riachtanais iarratais ar leith, agus is féidir an sprioc a shaincheapadh chun freastal ar na riachtanais seo.

Clibeanna Te: Spriocanna Rothlach Tíotáiniam le haghaidh sputtering maighnéadrón, sprioc feadán tíotáiniam